二氧化硅复合图形化蓝宝石衬底（SiO₂-PSS）：在蓝宝石图形表面沉积一层二氧化硅薄膜，形成复合结构。SiO₂折射率（约1.46）介于蓝宝石（1.77）与GaN（2.45）之间，可进一步减少全反射损耗，提升光提取效率；同时其绝缘性可抑制漏电流。相比单层PSS，复合衬底能优化外延生长均匀性、改善抗静电能力，且工艺兼容性好。常用于高效LED及Micro LED领域，以更低的光学损耗实现更高亮度。
| 项目 | 规格 |
| 高度（H） | 1.85~2.05μm |
底宽（W） | F:2.75-2.80μm 4-2:2.80-2.85μm 4-1:2.85-2.90μm E:2.90-2.95μm |
灰阶 | F:90-100 4-2:70-90 4-1:55-70 E:50-55 |
| 包形间距（d） | 3±0.05μm |
| 弧度 | <0.18um |
| 平边夹角 | 90° |
| 蓝宝石高度 | 0.2-0.3mm |
