图形化蓝宝石衬底（DPSS）

DPSS（干法刻蚀图形化蓝宝石衬底） 是采用等离子体干法刻蚀工艺在蓝宝石表面制备微纳图形的技术。其典型流程为：先在蓝宝石衬底上涂覆光刻胶，通过光刻定义出图形，再使用电感耦合等离子体（ICP）等设备，利用反应离子轰击将图形转移至蓝宝石中，最后去除残留光刻胶。图形形状、尺寸和周期可控性极强，可加工高深宽比的锥体等结构，图形均匀性和重复性优异，有利于提升LED外延晶体质量及光提取效率。广泛用于高端照明、显示背光等对发光效率和波长均匀性要求较高的场景，是当前高端PSS的主流方案之一。