物理化学稳定性极佳（高硬、高熔点、化学惰性）、光学透光性好（尤其对可见光和紫外光）、绝缘性好、与GaN可实现良好外延、晶体质量可控、机械强度高。成熟、稳定、设备兼容性好、成本相对较低，但单位产出效率低于更大尺寸晶圆。
Crystal Material | High Purity Al2O3（ 99.996%） | ||
| 性能 | 目标值 | 误差 | 单位 |
| 直径 | 150 | ±0.2 | mm |
| 厚度 | 1300 | ±2.0 | um |
| A面（11-20）取向 | 0° | ±0.1° | degree |
| M面（1-100）取向 | 0.2° | ±0.1° | degree |
| 定位面长度 | 47.5 | ±1.5 | mm |
| 正面粗糙度Ra | ≤0.3 | nm | |
