物理化学稳定性极佳(高硬、高熔点、化学惰性)、光学透光性好(尤其对可见光和紫外光)、绝缘性好、与GaN可实现良好外延、晶体质量可控、机械强度高。成熟、稳定、设备兼容性好、成本相对较低,但单位产出效率低于更大尺寸晶圆。
100.25±0.05mm
C向±0.1°
A向±0.1°